Semantic Scholar
Open Access
2000
627 sitasi
Materials issues in microelectromechanical systems (MEMS)
S. Spearing
Topik & Kata Kunci
Penulis (1)
S
S. Spearing
Akses Cepat
PDF tidak tersedia langsung
Cek di sumber asli →Informasi Jurnal
- Tahun Terbit
- 2000
- Bahasa
- en
- Total Sitasi
- 627×
- Sumber Database
- Semantic Scholar
- DOI
- 10.1016/S1359-6454(99)00294-3
- Akses
- Open Access ✓