Bookmark Saya

CrossRef Open Access 2024 4 sitasi

Atomic layer deposition of materials

Jun Peng Robert Zierold
Lihat Sumber DOI

Penulis (2)

J

Jun Peng

R

Robert Zierold

Format Sitasi

APA MLA BibTeX
Peng, J., Zierold, R. (2024). Atomic layer deposition of materials. https://doi.org/10.1016/b978-0-323-90800-9.00206-7

Akses Cepat

PDF tidak tersedia langsung

Cek di sumber asli →
Lihat di Sumber doi.org/10.1016/b978-0-323-90800-9.00206-7
Informasi Jurnal
Tahun Terbit
2024
Bahasa
en
Total Sitasi
4×
Sumber Database
CrossRef
DOI
10.1016/b978-0-323-90800-9.00206-7
Akses
Open Access ✓